近日，河北普兴电子科技股份有限公司工作人员正在装取碳化硅外延片。河北日报通讯员 张晓峰摄

  走进石家庄市鹿泉区河北普兴电子科技股份有限公司，眼前的碳化硅外延片，如同透明的CD唱片，满满的科技范儿。它的作用可不可以小看，如果把制造芯片比作盖房子，这就是房子的框架。

  如今，普兴电子的碳化硅外延片产量，位居全国前列。很难想象，就在20多年前，这家企业连擦设备的布都要依赖进口。

  关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的，唯一出路就是埋头苦干，自主创新。

  不缺市场的普兴电子，却斥巨资从国外进口了一台生产6英寸产品的新单片炉设备。当时，企业一年的出售的收益只有四五千万元。

  一时间，质疑声四起：“卖得好好的，为啥给自己找难题？”“这么贵，收得回成本吗？”

  公司总经理陈秉克态度坚决，因为他深知：“没有核心技术，就永远拿不到产业话语权。”

  那时，国内6英寸硅外延片的技术瓶颈还未突破，生产技术无经验可循，只能摸着石头过河。

  科研人员埋头苦干几个月，第一批产品终于出来了。然而，就在大家满心欢喜庆祝的时候，问题来了。

  “明明出厂检测合格，可到了用户那里，就会出现探测不到的缺陷。”副总经理袁肇耿回忆起来仍然感到痛心。

  最严重的一次，发了5000片货，退回来2500片。一气之下，他们把这些不合格产品砸碎，报废处理。

  那段日子，让陈秉克终生难忘。最难的时候，企业年底利润是负数，他心有不甘：“必须搞出自己的技术！”

  自打那时候起，实验室的灯就没熄过。十四五位科研人员，心里都憋着一口气，大家轮流倒班，发起技术攻关。

  问题出在哪儿？衬底抛光去除量不够、工艺过程参数设置不准确、损伤层去除不均匀、反应腔处理条件不合理……大家一个个查找，一个个解决。

  一次又一次，光做试验的硅外延片，就报废了一万多片。“都是钱啊，一片片砸进去，一点响都听不到。”大家心里没底。

  尝试，失败；再尝试，再失败……摸索了一年时间，终于找到新的检测的新方法，缺陷率控制住了。

  2006年，普兴电子终于通过自主研发，在全国率先批量生产出稳定性很高的6英寸硅外延片。

  核心技术带来了源源不断的订单。“最火的时候，客户带着现金住在厂里等着提货。”袁肇耿笑着说。

  “创新就是九死一生。保持定力，才能攻克一个个技术难关。”回望那段经历，袁肇耿深有感触。

  洁净厂房的操作区内，8英寸硅外延片正在外延炉里静静生长。显示屏上灯光闪烁，技术人员认真观察各项技术参数运行情况。

  “这套设备，是我们自主研发的。”普兴电子生产部副部长许斌武线年，订单直线攀升，普兴电子准备扩大产能。然而，兴冲冲地去国外买设备的工作人员却被绊住了，谈了3个多月都没谈下来。

  “卖给我们的是淘汰设备，价格却比先进型号高，还提出先付钱、不保证交付期等不合理条件。”许斌武说。

  “设备依赖外国，产业高质量发展就会受制于人。”普兴电子下定决心：“自己研发！”

  可是，自主研发设备，谈何容易？这是一个庞大的系统，集机、电、计算机、自动化控制等技术为一体，所涉知识密集、学科众多，硬件、软件要求高。

  高精度的旋转系统，一度成为“拦路虎”。“旋转平稳度差之毫厘，硅片从片篮传送到反应室就会发生偏移，生产出的产品就报废了。”袁肇耿说。

  光这一个小环节，研发人员就用了近半年时间反复试验。最终，请来编程专家一点点调整参数，终于实现精准稳定旋转。

  就这样，一项项工艺反复调整，一个个部件精雕细琢，样机终于在两年后成功问世，实现了国产设备的突破。

  没想到，成本下降了一半，但推广却遭遇难题。有人怀疑，不会是样子货吧？也有人对国产设备不信任，说还是用进口的靠谱。

  信任，不是说出来的，而是做出来的。他们免费提供样片，做可靠性验证，努力提供比进口品牌更诚挚的服务。

  两年以后，袁肇耿明显感到用户对国产设备态度的转变——“从不信任到愿意尝试了”。

  “研发的过程，也让我们对设备有了更深刻的理解，便于更好地改进生产的基本工艺。”袁肇耿说，比如改善感应线圈结构，能使生产效率提高15%；改进进气装置，使气场一致性提高10%。

  “不能总是跟跑，要奋力实现并跑、领跑”来到青山环抱中的普兴电子新外延材料产业基地，一座座高大的白色现代化厂房拔地而起。

  如今，普兴电子已成长为国家级专精特新“小巨人”企业，也是我省第一批县域特色产业集群“领跑者”企业。

  这些年来，从第一代到第三代半导体材料，一批批实现“零的突破”的科研成果从这里源源走出。在国内率先稳定量产8英寸硅外延片；率先研制出碳化硅外延片……硅外延及碳化硅外延产品国内市场占有率超25%以上。

  不光要突破技术、设备，普兴电子还要“打造”国家标准。目前，该企业正参与制定碳化硅缺陷检验测试方法等三项国家标准。

  不创新不行，创新慢了也不行。袁肇耿总有一种紧迫感：“半导体材料领域，不能总是跟跑，要奋力实现并跑、领跑！”

  普兴电子一直在奔跑，每年投入大量资金进行新研发技术，目前正加快研发第四代半导体材料，未来将应用在5G通信、高速轨道交通等领域。

  不怕失败，艰苦磨砺。普兴电子10多年来的发展历史，标记出高新技术企业勇攀高峰、不断攻克前沿技术的鲜明足印。

  关于进一步加大人才引进力度助推现代化、国际化美丽省会城市建设的若干措施（试行）